低能耗電子槍EGA-1012 EGPS-1012產品規格

電子槍的工作原理 ：

利用高速電子束與材料相互作用，將電子的能量轉化為材料的熱能，從而實現對材料的加熱、熔化或蒸發

電子槍的工作原理是利用高速電子束與材料相互作用，將電子的能量轉化為材料的熱能，從而實現對材料的加熱、熔化或蒸發。電子槍通過熱陰極的熱發射和電場的控制，發射出一個致密而集中的電子束，用于電子顯微鏡、電視顯像系統等應用。

起始價格 基本系統 – 不包括選項：27,600 美元

中等直徑光斑尺寸的大電流

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應用：

表面物理研究

真空物理實驗

電荷中和

電子解吸

表面清理

熒光粉測試

電離實驗

半導體加工

功能/選項：

光束電流高達 2mA

Feedback Stabilized Emission Current

用戶可更換的點火裝置

UHV 兼容 / 可烘烤

電腦 / 遙控器

光束脈沖選項

能量范圍：5 eV 至 1k eV

光束電流：1 μA 至 2 mA

光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（無聚焦能力）

安裝：2.75“ CF

特點/選項：泛光光束、脈沖、雙網格

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源，旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實驗、表面物理和需要低能量高束流的加工應用。它是一個完整的子系統，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光束發散度都是可獨立調節的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產生均勻的泛光光束。這種設計允許產生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術。電子槍可在高達 350°C 的溫度下烘烤，無需電纜。使用法拉第杯時，最大值為 65oC 除非被刪除。

標準陰極是一個大電流、堅固的釔涂層圓盤 （Y2O3).陰極在寒冷時不會因反復暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關的函數。在良好真空下，低電流下的陰極壽命可能長達數百小時，甚至超過一千小時。